日 期： *** 年 3 月 8 日

招标编号： ***-***FE***CDF

项目名称：高精度膜厚测试仪（重新招标）

************电科芯片技术（******）************************开竞争性招标，于 ***

年 3 月 8 ******告。******开招标方式。

1. 招标条件

1.1 项目概况：高精度膜厚测试仪 1 台。

1.2 资金到位或资金来源落实情况 : 已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1 交货地点：中电科芯片技术（******）******司

2.2 用途说明：高精度膜厚测试仪主要用于 SAW 金属薄膜 (AL 、 Cu 、 Au 、 Cr 等 ) 、氧化膜（ SIO2 、 SiN ）、以及光刻胶厚度等材

料的全自动膜厚测试，能实现晶圆上不同芯片位置自动定位、编程进行准确、方便、快捷膜厚测试，适合批生产的在线控制，

******膜厚准确性和重复性监控的不可缺少的检测手段，具备图形自动识别、机械手传片等功能。

系统主要由传送模块、******系统、系统、检测控制软件、数据客制化输入输出及防震台等组成，适用于高洁净度环境。

2.3 交货时间：合同生效后 *** 天。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，******明文件。

3.2 本次招标接受代理商投标，******商的合法授权，******商授权书。

3.3 本次招标不接受联合体投标。

3.4 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；******托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人

或其他组织不得参加投标。

4. 招标文件的获取：

4.1 获取时间： *** 年 3 月 8 日至 *** 年 3 月 15 日，每天 9:00 至 12:00 ， 14:00 至 17:00 （北京时间，法定节假日除外）。

4.2 获取采购文件的方式：

(1) 凡有意参与本项目的供应商，******必在本项目采购文件领取截止时间前，******国远东招采平台（门户登录地址：

##### ）进行操作（免费注册）。

(2) 注册并首次登录后，进入【******心 - ******管理 - 收付款及开票信息维护】******金付款账号（须为供应商基本

账户）和供应商开票信息；然后，进入【******心 - ******管理 - 收付款及开票信息分配】，将添加好的收付款及开票信息分

******国远东招采平台。非首次登陆可省略此步骤。

(3) ******的【******告】、【我的邀请】搜索项目名称或项目编号，选择本次参与的项目，进入标段工作台进行项

目后续操作。

(4) 本项目无需报名审核，供应商可在【标段工作台 - 招标文件】，点击【购买招标文件】直接在线上支付标书费（支持个人微

信、支付宝）并下载采购文件，支付完成后系统自动开具增值税普通发票，供应商可在【缴费订单】中自行下载。

(5) ******国远东招采平台注册、************，请与平台联系人芦老师、殷老师（电话： ***-*** 转

*** ）联系。

4.3 ******： *** 元（售后不退）。

4.4 本项目采用资格后审合格制，报名成功不代表评标现场通过资格审查，******需提供完整、清晰、******明文

件。

5. 投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）： *** 年 3 月 29 日 14:00 分 , 投标文件递交时间： *** 年 3 月 29 日 13:30 分－ *** 年 3 月 29

日 14:00 分。

5.2 投标文件送达地点：******道 36 号圣荷酒店八楼 *** 会议室